Mikroanalytik mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX)
Die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) erlaubt eine lokale Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Über den Elektronenstrahl werden im Rasterelektronenmikroskop die Atome im betreffenden Probenbereich zur Emission einer für die jeweiligen Elemente charakteristischen Röntgenstrahlung angeregt. Das so erzeugte Röntgenspektrum kann sowohl qualitativ als auch quantitativ ausgewertet werden. Durch Bewegung des Elektronenstrahls über die Probe können Elementverteilungen entlang einer Linie (Line Scans) oder zweidimensionale Elementverteilungsbilder aufgenommen werden. So können Strukturen bis zu einer Größe von wenigen µm aufgelöst werden.
Anwendung:
• Untersuchung von Aufmischungen in Schweißverbindungen
Beispiele: