Materialuntersuchungen im Rasterelektronenmikroskop
Die Rasterelektronenmikroskopie bietet umfassende Möglichkeiten der Bildgebung sowie der chemischen Analytik an nahezu jeder Probenspezies. Dabei werden Vergrößerungen bis auf das 100.000-fache bei hoher Tiefenschärfe erzielt. Viele Untersuchen lassen sich insbesondere bei elektrisch leitfähigen Proben ohne aufwändige Präparation durchführen.
Neben metallischen Proben können bei entsprechender Probenvorbereitung auch andere Materialien (außer Flüssigkeiten) direkt im Rasterelektronenmikroskop (REM) untersucht werden.
Die große Probenkammer erlaubt die Untersuchung von Proben bis 20 cm Länge und 60 mm Höhe. Bei der Probengeometrie bestehen wenige Einschränkungen.
Grundsätzlich müssen Proben für die Rasterelektronenmikrosokpie Elektronen ableiten können. Über eine entsprechende Probenpräparation wie Kohlenstoffbedampfung
oder Sputtern lassen sich jedoch dünne Schichten leitfähiger Materialien auf die Probenoberfläche aufbringen, so dass auch elektrisch nicht leitende Materialien wie Kunststoffe oder mineralische Stoffe untersucht werden können.
Anwendungsgebiete der Rasterelektronenmikroskopie
